超磁致伸缩Fe-Ga合金薄膜成分及结构的预测模型构建

项目名称： 超磁致伸缩Fe-Ga合金薄膜成分及结构的预测模型构建

项目编号： No.51161019

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 晏建武

作者单位： 南昌工程学院

项目金额： 50万元

中文摘要： 本课题拟采用复合靶和合金靶，聚酰亚胺薄膜基片、铜基片、单晶Si基片及玻璃基片，通过改变合金靶成分以及控制靶上贴片面积与合金靶表面面积的面积比，采取调整溅射气压、靶基距、基片溅射温度、溅射电压、溅射电流参数、溅射后的热处理温度等措施，用磁控溅射镀膜机溅射制备单层、多层Fe-Ga薄膜。采用SEM、EDS、TEM、XRD、电脑膜层测厚仪、磁力显微镜（MFM）等仪器，对薄膜成分、显微结构及磁畴结构进行表征。探索薄膜的成分、结构及磁致伸缩性能与制备工艺之间的相关性，揭示其影响规律，建立薄膜成分、结构的预测与控制理论模型；研究Fe-Ga薄膜的磁化行为以及磁致伸缩性能，建立本构模型。在上述研究基础上，制备性能优良的Fe-Ga薄膜悬臂梁，验证理论模型。本项目研究可为超磁致伸缩Fe-Ga薄膜的应用提供理论基础和技术支撑。

中文关键词： Fe–Ga薄膜；薄膜成分；预测模型；磁致伸缩；悬臂梁

英文摘要：

英文关键词： Fe-Ga thin ？lm；composition of film；prediction model；magnetostrictive；cantilever beam