SiC低维纳米材料压阻特性及其性能剪裁

项目名称： SiC低维纳米材料压阻特性及其性能剪裁

项目编号： No.51372122

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 高凤梅

作者单位： 宁波工程学院

项目金额： 80万元

中文摘要： 本项目拟以高性能高温压力传感器研发为导向，以有机前驱体热解为材料制备手段，实现6H-SiC纳米线生长与掺杂的精细控制；深入揭示6H-SiC纳米线尺寸、掺杂类型和浓度等与其压阻特性之间的相互关系并进行优化，建立纳米尺度下6H-SiC结构-掺杂-压阻特性间的内在关联，为SiC高温压力传感器的研发提供关键支撑材料。相关工作将系统评价尺寸效应、表面效应和能带调控对6H-SiC纳米线的室温和高温压阻特性的影响，阐明SiC纳米线室温和高温的载流子输运特性及其压阻机理，实现SiC纳米线高温压力传感器的性能剪裁，为高灵敏高稳定的高温压力传感器研发提供一定的科学数据和理论依据。

中文关键词： 碳化硅；低维纳米材料；压阻特性；压阻机理；压力传感器

英文摘要： In present work, directed by the investigation of high-temperature pressure sensors with excellent properties, we will firstly realize the precise control on the growth and doping of single-crystalline 6H-SiC nanowires via pyrolysis of polymeric precursor

英文关键词： SiC；Low-dimensional Nanostructures；Piezoresistance Behaviors；Piezoresistance Mechanism；Pressure Sensors