自由空间光通信精跟踪系统高频响应硅基反铁电厚膜微振镜基础研究

项目名称： 自由空间光通信精跟踪系统高频响应硅基反铁电厚膜微振镜基础研究

项目编号： No.61401406

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 安坤

作者单位： 中北大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 利用硅基反铁电材料的相变应变效应和快速开关特性，实现反铁电功能材料与前沿微纳制造技术的兼容制造，提出空间光通信系统精瞄器件集驱动/光反射功能一体化设计，为高可靠、高灵敏、防伪抗干扰性强ATP精瞄器件开发提供新的思路。项目拟从材料科学与光器件应用相衔接的角度出发，提出缓冲层晶格匹配设计和多步退火界面应力释放方法，实现大面积(Pb,La)(Zr,Ti)O3(PLZT)硅微反铁电功能厚膜异质集成制造；结合微纳兼容制造关键技术，研制具有优异疲劳特性、快响应速度、大应变量的PLZT反铁电厚膜微振镜，揭示PLZT反铁电厚膜微振镜在电场作用下的结构相变调控规律及相应的相变应变效应影响机制，建立PLZT反铁电厚膜微振镜作为微驱动执行构件的电场致动力学模型，为微小型、高灵敏、高可靠性、超精密定位空间光通信系统ATP精瞄器件的设计和开发提供理论依据和核心构件支持。

中文关键词： 空间光通信；精瞄器件；反铁电材料；相变应变效应；微振镜

英文摘要： Utlizing the strong field-induced strain and the sharp phase switching of antiferroelectric materials, realizing the compatible manufacturing technology of the functional materials and front micro-nano manufacturing, and proposing the design method of fin

英文关键词： space optical communication；fine pointing device；antiferroelectric materials；transformation strain effect；micro-vibrating mirror