基于硅衬底的TiO2紫外探测器的研究

项目名称： 基于硅衬底的TiO2紫外探测器的研究

项目编号： No.60977031

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 阮圣平

作者单位： 吉林大学

项目金额： 37万元

中文摘要： 紫外探测器在国防、紫外天文学、环境监测、生物医药等方面有着广泛应用，具有极高的军事和民用价值。本项目主要研制一种TiO2基MSM(金属-半导体-金属)平面结构紫外探测器。器件以特殊溶剂处理的Si片为衬底，利用经官能团活化的表面诱导晶体成核，通过自组装技术制备出定向生长，缺陷密度低、具有完好结晶度的TiO2基体材料。在此基础上，在宽禁带半导体TiO2薄膜表面制备平面线型叉指电极，使其和TiO2形成"背靠背"的双肖特基势垒结构的紫外探测器。此项技术不但可克服单片集成的大面积、阵列化半导体紫外探测器和紫外成像系统研究中存在的缺乏合适衬底和有效工艺手段的困难，有效解决紫外探测器阵列外围电路与探测器件集成一体化所面临的难题，而且可提高器件的灵敏度、降低响应时间、减小暗电流。预计器件响应范围：250-325nm，5V偏压下暗电流小于5nA，在260nm处响应度500A/W，响应时间小于5ms。

中文关键词： 二氧化钛；紫外探测器；自组装；肖特基势垒；

英文摘要：

英文关键词： TiO2；ultraviolet photodetector；selfassembly；Schottky contact；