面向量子功能器件制备的直写式真空蒸发系统

项目名称： 面向量子功能器件制备的直写式真空蒸发系统

项目编号： No.61327003

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 闫鹏

作者单位： 北京航空航天大学

项目金额： 290万元

中文摘要： 本研究面向量子调控等基础研究重大前沿方向，针对量子功能材料和器件制备中的多种工艺和精密度要求，突破现有真空蒸发技术的局限性，创新性的研制一种以纳米移定位系统为核心技术的直写式真空蒸发仪器。该仪器通过将高纯度气态靶材经过掩模控制形成高度定向，沉积率可控的靶材束流直接沉积在衬底基片上，并通过控制承载衬底基片的纳米微动平台轨迹跟踪运动，实现镀膜几何图形或器件的拓扑结构，达到纳米精度量子器件金属化沉积成型的制备目的。本课题还将在研制仪器的基础上，通过量子功能器件的制备完成对样机性能测试，并形成一套基于新仪器的器件制备方法，推动量子和信息功能材料等相关科学研究的发展。

中文关键词： 纳米伺服技术；精密跟踪控制；量子功能器件；真空蒸发技术；微纳加工

英文摘要： To meet the increasing needs of accuracy and specifications on quantum functional devices and material, this research proposes a novel nano-manipulation based direct writing vacuum evaporation instrument. The mechanism of this innovation can be described

英文关键词： Nano Servo Technology；High Precision Tracking；Quantum Devices；Vacuum Evaporation；Micro-Nano Fabrication