硅基纳米多级复合结构集成气体传感器

项目名称： 硅基纳米多级复合结构集成气体传感器

项目编号： No.61131004

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 唐祯安

作者单位： 大连理工大学

项目金额： 280万元

中文摘要： 本项目研究采用硅集成电路和硅微加工技术与先进的纳米多级复合结构气敏材料相结合的系统芯片（SOC）式气体传感器。该传感器芯片系统包括硅微热板阵列、加热驱动电路、信号放大电路、模数转换电路以及数控采样电路等；气敏材料包括多种纳米多级复合结构的金属氧化物材料和沸石薄膜材料。在已有积累的基础上，本项目以苯和沙林为目标气体，以显著提高半导体气体传感器的选择性和稳定性这两个核心参数为目的，深入研究纳米多级复合结构材料的气体敏感机理和规律、设计方法及其在硅基微热板上的定域选择性制备技术和性能控制技术；研究不同纳米多级复合结构气敏材料的制备方法的兼容性，给出硅基阵列式集成气体传感器系统的整体加工技术和气体检测技术。研究过程中还将与国内主要半导体气体传感器生产企业合作，共同研究提高半导体气体传感器的生产成品率、降低制备成本和综合提高我国半导体气体传感器技术水平的方法。

中文关键词： 集成气体传感器；纳米多级复合结构；制造工艺流程；气敏材料；

英文摘要：

英文关键词： integrated gas sensor；hierarchical composite nanostructure；manufacture process flow；gas sensing material；