基于假塑性金属纳米粒子流体的压缩式气压纳米压印研究

项目名称： 基于假塑性金属纳米粒子流体的压缩式气压纳米压印研究

项目编号： No.51175479

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 段智勇

作者单位： 郑州大学

项目金额： 58万元

中文摘要： 气体施压是提高纳米压印技术压印力均匀性的优势方案；金属图形直接转移方法步骤少，成本低，是微细结构与器件制备的先进技术。本项目首次提出压缩式的气体施压和利用假塑性金属纳米粒子流体实现金属图形直接转移的纳米压印新方法，主要特点如下：(1)压印力均匀性高，压缩式气体施压方法压印力高均匀性增强且可避免气流扰动；(2)阻尼减振，设计阻尼结构阻尼施压过程中机械振动向承片台的传导；(3)施压气体隔离，凸出环掩模板粘合介质流体密封方法阻止施压气体浸入到掩模板与基板之间；(4)介质流动性气泡消除，基于假塑性流体流变特性克服介质流动性气泡影响；(5)金属图形直接转移,假塑性金属纳米粒子流体做转移介质，压印后低温体金属转化。项目主要对压缩式气体施压方法、假塑性金属纳米粒子流体流变特性、压印过程等进行设计、仿真、试验、优化等研究，为实现压缩式气体施压金属图形直接转移成形新方法奠定理论与试验基础。

中文关键词： 纳米压印技术；假塑性流体介质；金属纳米粒子；压缩式气体施压；静电分离

英文摘要：

英文关键词： nanoimprint；pseudoplastic fluids；nanoparticles；air compression press；static electricity forces separating system