离子束增强刻蚀铌酸锂微结构的制备和机理研究

项目名称： 离子束增强刻蚀铌酸锂微结构的制备和机理研究

项目编号： No.10905036

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 王磊

作者单位： 山东大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 铌酸锂晶体是一种性能优良的多功能人造晶体材料，在集成光学领域有着广泛的应用前景。离子注入增强刻蚀是一种对材料进行微加工的有效方法，它既具有图形转移精度高，能够精确刻蚀亚微米图形的优点，又能够制备具有三维特征的薄膜结构，是一种有着潜在应用背景的新方法、新模式。利用离子束增强刻蚀对铌酸锂进行微加工是国际研究的热点。本项目利用离子注入技术对铌酸锂进行改性，辅以现代光刻技术对铌酸锂进行增强刻蚀，利用二次质谱、背散射/沟道以及高分辨电镜等测试方法研究离子注入过程对铌酸锂晶格结构的影响以及损伤形成的规律，进而探讨离子束增强刻蚀铌酸锂的机理，建立基于损伤分布和刻蚀速率的模型，制备出高质量的铌酸锂微结构。本项目的研究结果能够为新型铌酸锂集成光学器件特别是光子晶体平板的研究与应用提供实验依据，并推动其在集成光学领域的进一步应用。

中文关键词： 离子注入；铌酸锂；刻蚀；脊形光波导；

英文摘要：

英文关键词： ion implantation；lithium niobate；etching；ridge waveguide；