1984年,电子巨头飞利浦和另一家工具制造商先进半导体材料国际公司创建了ASML,成为一家独立的公司,也是迄今为止最大的芯片制造设备供应商,该设备涉及一种称为「光刻」的工艺。利用光刻技术,可以将芯片电路的图案反复投射到硅晶圆上。可以添加到单个芯片上的微小晶体管和其他组件越多,功能就越强大,可以存储的数据也越多。这种微芯片晶体管小型化的趋势被称为摩尔定律,以芯片巨头英特尔的共同创始人戈登·摩尔的名字命名。1997年,ASML开始研究转向使用极紫外光(EUV)的问题。这种光具有超小的波长,可以打造比传统光刻技术更微小的电路。ASML决定以此技术为基础制造机器,自20世纪90年代末以来,涉及EUV技术的开发已耗资80亿美元。ASML的开发过程很快走向全球。ASML现在使用德国的镜子和在圣地亚哥开发的硬件组装,通过用激光轰击锡滴来产生光,关键化学品和部件则来自日本。ASML首席执行官Peter Wennink说,在公司发展的早期,由于缺乏资金,公司整合了来自专业供应商的发明,创造了一个他称之为「协作性知识网络」的快速创新体系。「迫于形势,对于别人做得更好的事,我们就不做了。」他说。到20世纪80年代初,美国、日本和欧洲的研究人员开始考虑「换光源」。这个概念被一个包括英特尔和其他两家美国芯片制造商以及能源部实验室在内的团队所采纳,这些团队成员组成了EUV LLC联盟。ASML首席技术官Martin van den Brink表示,经过一年多的谈判,ASML于1999年加入这个阵营。ASML的其他合作伙伴包括比利时的Imec研究中心和另一个美国财团Sematech。英特尔、三星电子和台湾半导体制造公司陆续加入。
技术全球化,美国势力不断渗入
ASML在2007年收购美国Brion,获取了光刻技术后,成功开启并购美国光刻企业之路。至此,美国开始在EUV技术方面渗入ASML。2012年,英特尔、三星、台积电共同买入ASML 23%的股权,获得了ASML光刻机的优先供货权,成为了利益共同体。截止2020年末,ASML的EUV中有90%零部件来自进口,而且根据ASML加入EUVLLC的承诺,美国零部件需占比55%以上。同时,ASML的前三大股东均来自美国,合计掌握ASML近30%的股权。自从ASML在2017年推出其商用EUV系统以来,客户已经购买了大约100台。买家包括三星和台积电。台积电使用EUV系统制造苹果最新的iPhone手机处理器。英特尔和IBM表示,EUV对他们的计划至关重要。IBM高级副总裁Darío Gil表示:「这绝对是人类建造的最复杂的机器。」荷兰自2019年起对向中国出口此类机器实施限制,这对ASML的财务上的影响不大,因为它有来自其他国家的积压订单。 但该公司约15%的销售额来自于在中国销售的旧系统。在2021年3月份提交给美国国会和拜登总统的一份最终报告中,美国国家人工智能安全委员会建议,将出口管制范围也扩大到其他一些ASML的机器。这个委员会旨在限制具有军事用途的人工智能进展。有专家认为,由于中国已经在使用这些机器,禁运更多额机器对ASML有害,且没有多少战略利益可言。ASML也是如此认为。 「我希望常识能占上风」,ASML首席技术官Martin van den Brink说。 参考资料:http://www.ime.cas.cn/icac/learning/learning_2/202112/t20211221_6324996.htmlhttps://www.nytimes.com/2021/07/04/technology/tech-cold-war-chips.html