ESD研究用传输线脉冲发生器设备

项目名称： ESD研究用传输线脉冲发生器设备

项目编号： No.60927006

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 韩郑生

作者单位： 中国科学院微电子研究所

项目金额： 120万元

中文摘要： 传输线脉冲发生器（TLP）由于可以测量出静电防护器件在承受静电脉冲过程中的ＩＶ曲线，提供集成电路静电放电防护全局保护结构需要的特性参数，已成为研究器件与电路静电放电防护技术的重要设备．国际上，在０８年的ＥＳＤ／ＥＯＳ会议中，涉及器件和集成电路ＥＳＤ防护技术的３１篇文章中有２５篇用到了ＴＬＰ设备，而０６年ＩＥＤＭ会议报道的３篇ＥＳＤ防护文献中，则有２篇用到了此设备．但国内在维普中文科技期刊库里任意字段包含ＥＳＤ和ＴＬＰ词条的文献只有14篇，其中只有6篇包含了自主测试的ＴＬＰ数据，与之相对应的，则是我国公布的ＥＳＤ防护专利中不到１５％是中国公司申请的，由此可见国内在ＥＳＤ研究领域仍需加倍努力．本研究旨在基于中国科学院微电子研究所已取得的ＴＬＰ研究成果，提供性能与国际水平相当，价格为国际商业化产品25％-75％的ＴＬＰ系统，并将此技术在国内迅速推广，以大力推动我国ESD防护技术的基础研究工作。

中文关键词： 静电放电；传输线脉冲发生器；集成电路；脉冲；过冲

英文摘要：

英文关键词： ESD；TLP；IC；Pulse；Overshoot