基于CMOS技术以及超材料的太赫兹室温探测阵列研究

项目名称： 基于CMOS技术以及超材料的太赫兹室温探测阵列研究

项目编号： No.61405001

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 马勇

作者单位： 重庆绿色智能技术研究院

项目金额： 25万元

中文摘要： 本项目拟对基于CMOS 技术和超材料的室温太赫兹探测阵列（THz Focal Plane Array THz-FPA）进行系统的实验探索与理论研究。通过集成高效率太赫兹辐射吸收单元和辐射热电阻传感器（bolometric resistive sensor）太赫兹辐射的高灵敏度探测，研究和优化实现高效率的太赫兹辐射超材料吸收技术；研究和探索此类太赫兹探测单元的集成加工技术；制造室温太赫兹探测阵列的原型器件；研究和探索此类探测器的探测频率动态可调谐性(Tunable detection frequency)。通过本项目的实施，我们希望能够开发出一个基于CMOS 技术的2x2 探测阵列的高性能的THZ-FPA 原型器件，为相关应用提供器件研究基础和工艺实现的材料和技术路线指导.

中文关键词： 太赫兹；超材料；微透镜结构；生物传感探测；室温探测

英文摘要： The project will perform the sytem theory and experiment study on room-temperature terahertz detection array ( THz Focal Plane Array THz-FPA ) based on the CMOS technology and ultra_ material structure. The study content is as follows: Integration of effi

英文关键词： Terahertz；metamaterial；microlens；biosensing；room temperature