亚波长表面等离子激元波导光栅及其制备技术研究

项目名称： 亚波长表面等离子激元波导光栅及其制备技术研究

项目编号： No.60907025

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 恽斌峰

作者单位： 东南大学

项目金额： 22万元

中文摘要： 超高速、多功能、大容量光电集成平台迫切需要适合大规模集成的亚波长尺寸光滤波器件，并且生物化学探测领域需要高灵敏度的微纳化学传感器。传统的基于介质的波导光栅和光栅传感器特征尺寸大，光调控性能差，很难实现高密度集成。表面等离子激元波导光栅由于其独特的表面束缚和局域场增强效应能有效减小器件尺寸，并能大大提高其光调控性能。 本课题研究基于表面等离子激元的亚波长波导光栅的物理机理和制备工艺。通过建立相应物理模型，设计并优化组成表面等离子激元亚波长波导光栅的微纳结构，分析该结构各参数（如等离子激元波导参数、光栅参数等）对其性能（如中心波长、反射率、带宽等）的影响；并研究光在亚波长波导光栅中的传输特性（如损耗、模式等），阐明基于表面等离子激元的亚波长波导光栅的物理机理；在此基础上，采用聚合物和金属作为材料，结合微细加工技术制作光通信波段的亚波长波导光栅，并探索其在光通信及化学传感领域的应用。

中文关键词： 表面等离子激元；光波导；波导光栅；滤波器；

英文摘要：

英文关键词： surface plasmon polariton；optical waveguide；waveguide grating；filter；