TPT基底掺铝氧化锌透明导电薄膜界面特性及生长机制研究

项目名称： TPT基底掺铝氧化锌透明导电薄膜界面特性及生长机制研究

项目编号： No.51402219

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 王晓晶

作者单位： 武汉纺织大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜是重要的光电信息材料，柔性基底AZO薄膜的研究是电极材料研究的热点之一，对其膜基界面的研究有助于提高材料的质量、使用性能和可靠性等。由于问题的复杂性，柔性基底与AZO薄膜之间的界面问题还未清楚。本课题拟在前期AZO薄膜制备工艺研究的基础上，利用SEM、HRTEM、XPS、SAXS、拉曼光谱等分析手段，详细研究柔性TPT基底与AZO薄膜界面的显微结构和界面状态以及界面性能与AZO薄膜的微观结构、光电性能及机械性能的关系等，阐明界面微观结构演化与薄膜性能之间的关系；分析界面形成机制，建立TPT基底上沉积AZO薄膜的界面生长模型；并以TPT为基底制备出电阻率≤2×10^-4，可见光透过率≥88%的AZO薄膜。项目的研究有望从微观上更深入地了解有机柔性基底上磁控溅射AZO薄膜的界面问题，也可为制备高质量AZO薄膜提供理论指导。

中文关键词： 掺铝氧化锌薄膜；界面；光电性能；紫外照射；机制

英文摘要： Aluminium-doped Zinc Oxide(AZ0) transparent conductive thin film is important optoelectronic materials. With the development of optoelectronic devices to light and thin, the research of AZO films deposited on flexible substrates becomes a hot topic. The

英文关键词： AZO thin films；interface；optoelectric properties；UV irritation；mechanism