无氢类金刚石薄膜激光破坏机制的研究

项目名称： 无氢类金刚石薄膜激光破坏机制的研究

项目编号： No.60978040

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 苏俊宏

作者单位： 西安工业大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 类金刚石(diamond-like carbon，DLC)膜具有许多优良的性能，可适用于风沙、盐雾等恶劣的环境中，但其抗激光损伤能力却非常有限，这一特性严重制约着DLC薄膜在红外大功率激光系统、激光对抗及防护系统中的应用，解决这一瓶颈问题的关键在于对DLC薄膜激光损伤机制的认识。 本申请拟研究无氢DLC光学薄膜的激光损伤特性，揭示薄膜形成条件与其损伤特性之间的相互关联性；研究薄膜激光损伤阈值变化规律和微观结构之间的关系，揭示微观结构与其损伤特性之间规律；建立工艺-结构-性能的相互依存链条，通过综合分析，建立适当的数学物理模型，基于数值反演与实验验证，对建立的模型进行修正，进而揭示无氢DLC膜的激光损伤机制。因此，本次申请对DLC膜的激光损伤机制进行研究，具有明确的科学意义。项目的实施及取得的成果，必将为制备高激光损伤阈值的无氢DLC减反射保护薄膜，奠定坚实的理论基础。

中文关键词： 类金刚石；薄膜；激光损伤；红外窗口；机理

英文摘要：

英文关键词： diamond-like carbon；thin film；laser damage；infrared window；mechanism