自发微图案化柔性磁电子薄膜的制备及其磁电特性研究

项目名称： 自发微图案化柔性磁电子薄膜的制备及其磁电特性研究

项目编号： No.51401230

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 李辉辉

作者单位： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 随着可穿戴设备的兴起，柔性磁电子薄膜在电子皮肤等领域获得了广泛应用。在柔性磁电薄膜器件中，人工的微纳图案结构对其磁性、电子输运、应力特性和频率响应等的调控起着重要作用。但是，传统的光刻、纳米压印等微加工技术昂贵的成本以及柔性衬底的力学、热学不稳定性都不利于柔性磁电薄膜微图案结构的大面积制备。然而，柔性衬底良好的弹性却为应力调控薄膜微结构提供了便利。本项目拟研发一种可用于大面积制备的柔性磁电薄膜的自发微图案化方法，即通过超弹性有机衬底上的应力工程实现对柔性磁电薄膜微结构的调控，获得形状和周期可控的自发微图案结构；在此基础上利用倾斜溅射获得对应力和磁场敏感的条带状周期性自旋阀；研究微图案化柔性磁电薄膜中应力-微结构-磁电性能之间的相互关联，分别获得应力对微结构、应力对磁电性能、微结构对磁电性能的调控机制。本研究将为微图案化柔性磁电薄膜在柔性应力/磁场传感器和高频等领域的应用提供参考。

中文关键词： 微图案化；应力工程；柔性；磁电子薄膜；应力传感器

英文摘要： With the advent of wearable electronic devices, flexible magnetoelectric thin film sees wide application in electronic skins and other flexible electronics. Micro- or nano-patterned structures play an important role in modifying the magnetism, electron tr

英文关键词： micropatterning；strain engineering；flexible；magnetoelectric thin film；strain sensor