MEMS真空封装内部放气失效机理与加速寿命模型研究

项目名称： MEMS真空封装内部放气失效机理与加速寿命模型研究

项目编号： No.51375399

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 乔大勇

作者单位： 西北工业大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 为了获得稳定的Q值或热响应率，MEMS器件有比电子器件更高的气密性要求，且经常使用吸气剂来吸附泄漏气体以保证真空度不发生变化。对于高气密性要求下主要由内部放气导致吸气剂中毒或者吸气剂饱和的失效模式，由于其内部气源比较多样且内部放气还有可能互相反应，其物理原理甚至化学原理比较复杂，其失效机理还没有很好地确定，现存的标准很少，在很多模型和试验方法方面还没有达成共识。本研究拟利用在线残余气体分析系统，通过在线排气监测确定不同温度下的放气种类、对应气源和放气速度；确定内部放气是由气体渗出单一机制还是气体化学反应复合机制造成；确定高温加速下是否具有与使用条件完全相同的放气机理，并通过多个温度下的试验数据确定加速模型的激活能；根据计算得到的加速因子和加速条件下试验数据，选择合适的寿命模型推测使用条件下的寿命分布。从而为MEMS高气密性封装的可靠性设计、可靠性鉴定和寿命预测提供重要依据。

中文关键词： 微机电系统；真空封装；放气失效；寿命模型；

英文摘要： To achieve high Q-factor or rapid thermal response, many MEMS structures must be packaged and operated inside the cavity with controlled ambient of vacuum. Therefore, control and maintenance of the vacuum level inside the cavity are very important for lon

英文关键词： MEMS；Vaccum Package；Outgassing Failure；Life Model；