聚氯代二甲苯薄膜聚集态结构及高温演变行为

项目名称： 聚氯代二甲苯薄膜聚集态结构及高温演变行为

项目编号： No.51173173

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 温茂萍

作者单位： 中国工程物理研究院化工材料研究所

项目金额： 60万元

中文摘要： 聚氯代二甲苯薄膜（PC薄膜）除应用于高技术产品还作为先进武器核心部件中微器件的结构材料和保护涂层。不同沉积条件及不同厚度薄膜的聚集态结构存在较大差异，直接影响尺度极小的微器件性能，另外PC膜还存在高温作用后性能劣化而保护功能降低或失效问题，这与高温下其聚集态结构变化紧密相关，但有关研究十分薄弱。 本项目将从晶体结构和无定形结构等方面系统研究PC薄膜的聚集态结构及其影响因素，认识其成膜动力学机理和受限结晶行为。开展高温下PC薄膜聚集态结构变化研究，掌握其演变规律，结合数值模拟分析解释其演化机制。从细观力学与表面特性角度研究PC薄膜性能变化与聚集态结构演变关系，揭示其高温下性能劣化机理。 本项目的完成将深化对PC薄膜聚集态结构及其相关问题的认识，为高技术产品及先进武器用微器件研制中存在的亟待解决的问题提供研究基础。

中文关键词： PC膜；聚集态结构；厚度效应；力学性能；高温

英文摘要：

英文关键词： PC film；crystal structure；thickness effec；mechanical property；high temperature