微等离子体阵列器件光电特性与放电机理研究

项目名称： 微等离子体阵列器件光电特性与放电机理研究

项目编号： No.60901044

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 梁志虎

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 微等离子体阵列器件是一种新型的放电发光器件，在生物医学、显示、光源、传感器等方面具有广阔的应用前景，受到国际上的广泛关注。由于放电空间小（数十到数百微米），放电气体的压强高（接近或超过大气压），微等离子体阵列器件表现出不同于常规等离子体放电器件的特性。目前，微等离子体阵列器件研究仍处于起步阶段，尚未得到一种长寿命放电稳定的器件结构；器件放电机理也有待于进一步进行研究。本项目将对新型微等离子体阵列器件，共面微等离子体阵列器件（CEMPD）结构设计与制作工艺、放电与发光特性测量、放电特性模拟以及驱动波形对器件光电特性影响进行探索和研究，设计并实现一种新型的微等离子体阵列器件结构，对数值模拟模型进行改进，使得数值模拟更能适合微等离子体器件，更好的揭示微等离子体的放电机理。研究结果对于揭示微等离子体放电机理，开发新型的微等离子体阵列器件具有重要的理论意义和应用价值。

中文关键词： 微腔等离子体阵列器件；结构设计；工艺流程；光电性能；放电机理

英文摘要：

英文关键词： microcavity plasma device；Structure design；Fabrication technology；Optical-Electrical Character；Discharge mechanism