集成电路中碳纳米管互连建模与仿真

项目名称： 集成电路中碳纳米管互连建模与仿真

项目编号： No.60906016

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 电工技术

项目作者： 唐旻

作者单位： 上海交通大学

项目金额： 22万元

中文摘要： 在纳米尺度集成电路中，传统的金属互连线将面临各种性能极限问题。由于碳纳米管具有优良的电、热特性，是未来纳米集成电路中非常具有应用前景的互连材料。本项目针对目前主要制备的多壁碳纳米管（束）互连线的物理特性、等效电路模型以及信号传输性能进行研究。创新理论和方法成果包括：1.多壁碳纳米管互连线的等效电路模型和无源降阶方法；2.多壁碳纳米管互连线时延和串扰的快速估算公式；3.多壁碳纳米管束互连线的准确高频特性与简化电路模型；4.多壁碳纳米管束互连线的电热耦合模型与电热协同分析方法论。研究成果将有助于解决目前SoC中金属互连线的电热性能极限问题，对未来纳米尺度集成电路中碳纳米管互连线的分析设计有重要的指导意义，同时也为今后碳纳米管互连线的制备提供了理论导向。

中文关键词： 多壁碳纳米管；互连线；等效电路模型；量子效应；

英文摘要：

英文关键词： Multi-walled carbon nanotube；interconnects；equivalent circuit model；quantum effects；