强光元件离子束抛光表面本征特性演变机理研究

项目名称： 强光元件离子束抛光表面本征特性演变机理研究

项目编号： No.91523101

项目类型： 重大研究计划

立项/批准年度： 2015

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 彭小强

作者单位： 中国人民解放军国防科学技术大学

项目金额： 65万元

中文摘要： 在惯性约束聚变装置等高能激光系统中，其光学元件除了有几何精度指标要求，抗强激光辐照损伤也是其重要服役需求，这给强光元件纳米精度制造带来新的挑战与内涵。而光学元件制造产生的加工缺陷导致其表面本征特性改变是激光损伤的主要诱因，实现强光元件低损伤制造成为制约高功率激光技术发展的瓶颈。项目通过研究高功率激光辐照下光学元件表面本征特性诱导损伤动力学问题，强光元件离子束加工表面本征特性演变表征，强光元件表面材料离子溅射低损伤去除作用特性等科学问题，揭示污染杂质等缺陷诱导强光光学元件激光损伤发生、发展规律，强光材料表面离子溅射作用下表面结构、物理特性、杂质缺陷等扰动参数的影响规律，形成强光元件本征表面离子束清洗抛光方法，提升典型强光元件抗激光损伤阈值水平，丰富多性能光学元件纳米精度制造内涵，为我国重大强激光工程的实施提供工艺理论和制造技术支持。

中文关键词： 熔石英；表面特性；离子束抛光；激光损伤；

英文摘要： In high energy laser systems, such as inertial confinement fusion device, except geometric accuracy index, laser damage resistance is also a major service index of optical elements, which brings new challenge to optical fabrication. Optical components sur

英文关键词： fused silica；surface characteristic；ion beam sputtering；laser damage；