LTCC微加速度计

项目名称： LTCC微加速度计

项目编号： No.61176102

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 缪旻

作者单位： 北京信息科技大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 申请者先期研究发现，LTCC（低温共烧陶瓷）基板材料有良好的物理化学稳定性及微机械特性，以体型微加工在多层生瓷片上分别去除特定区域材料、填充牺牲层并对准层压、烧结后，可快速、低成本地制作大高宽比三维可动结构，可望成为支持快速加工验证的非硅三维微加工平台，而且相应力学传感器兼具良好的性能和出色的耐高温、腐蚀性等极端环境能力，可满足航空/航天、钻探、兵器等领域特殊应用的急需。相应开展如下研究：1）利用先进微分析手段，深入研究LTCC材料的微观机械特性及机理；2）掌握对生瓷基板进行体型微机械加工、带牺牲材料的生瓷叠压、烧结成型等关键单项工艺，形成LTCC微加速度计成套加工方法，掌握其机理及工艺质量无损检测方法；3）掌握器件结构特点及其设计、建模与优化方法，以及基于有限元的设计验证方法；4）接口电路设计及其与敏感结构的封装内集成方法；5）高温等极端环境下的结构应力分布、变化规律及主要失效机理分析。

中文关键词： 微纳惯性器件；陶瓷微机械加工；三维微系统集成；系统级封装；加速度计

英文摘要：

英文关键词： micro/nano inertial device；ceramic micromachining；three dimensional micro-system integration；system-in-package；accelerometer