基于硅模具的非晶合金三维微纳结构可控制备研究

项目名称： 基于硅模具的非晶合金三维微纳结构可控制备研究

项目编号： No.51175211

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 史铁林

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 63万元

中文摘要： 现代科学技术发展，微型化趋势日益加剧，高性能复杂三维微纳结构在众多领域的应用需求越来越大，对材料和加工制备提出了更高的要求。非晶合金作为具有优异性能的一种新材料，其成形加工是当前的研究热点。本项目提出一种集成光刻、刻蚀、硅片减薄、对准、多层硅片直接键合技术来制备三维微纳尺度的硅模具，再利用此模具结合超塑性成形和热键合技术制备非晶合金三维微纳结构的复合加工方法。同时，针对微纳尺度下非晶合金的超塑性成形特性和规律开展研究，探索工艺因素、尺度效应、摩擦、浸润等对成形过程和成形质量的影响机制，结合有限元方法和分子动力学分析进行建模仿真，以掌握成形质量控制方法，提高成形极限，最终开发一种大批量、低成本、高柔性的非晶合金复杂三维微纳结构成形方法，为推动我国非晶合金的理论研究和广泛应用提供科学理论和技术基础。

中文关键词： 硅模具；非晶合金；微纳结构；焊接；

英文摘要：

英文关键词： silicon molds；amorphous alloy；micro/nano structure；welding；