基于LTCC的光学微腔微流控集成传感芯片基础研究

项目名称： 基于LTCC的光学微腔微流控集成传感芯片基础研究

项目编号： No.61404119

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 严英占

作者单位： 中国电子科技集团公司第五十四研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 在低成本芯片单元实现污染物、病原微生物等有害物质的快速检测，对国防、生产、生活有重要意义。应用微流控技术，以高Q光学微腔为敏感单元，在低温共烧陶瓷(LTCC)基板的微流通道内实现光学微腔微流控系统集成，不仅为实现集成光子微流控传感芯片提供新思路，也是构建集成传感片上实验室和片上光通信系统的基础。本项目以LTCC单片集成光学微腔微流控传感芯片为牵引，应用FDTD等方法，理论研究高Q光学微腔在微流控环境下对周围物质的敏感机理及光学微腔鲁棒性控制机理，建立微腔耦合封装结构的物理模型，提出微腔封装工艺，提升其鲁棒性。提出光纤与LTCC基板的集成制造工艺，实现LTCC与微腔光纤系统的集成模块制造。优化LTCC流体通道制造工艺，进行微腔光纤系统在LTCC流体通道的无损集成，实现基于LTCC的光学微腔集成微流控传感芯片，为研发基于LTCC片上实验室的新型光通信和传感系统集成芯片打下基础。

中文关键词： LTCC；光学微腔；片上实验室；传感；

英文摘要： The detection of the pollutant, the pathogenic microorganism and other harmful substance by using chip sensing technology with low-cost is significant for national defense and people’s life. By using the micro fluidic technology, the micro fluidic system

英文关键词： low temperature cofired ceramic；optical microcavity；lab on chip；sensing；