用于大功率紫外LED散热的类金刚石薄膜热传导特性研究

项目名称： 用于大功率紫外LED散热的类金刚石薄膜热传导特性研究

项目编号： No.51376191

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 能源与动力工程

项目作者： 熊大曦

作者单位： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

项目金额： 80万元

中文摘要： 半导体紫外LED在医疗、印刷、生化检测，以及高密度信息存储和军事保密通讯等领域有广泛的潜在用途。由于外量子效率特别低，芯片的可靠散热成为制约其发展的主要障碍之一，而具有高导热和电绝缘特性的类金刚石薄膜有望作为芯片的衬底解决其散热的瓶颈问题。本项目针对大功率紫外LED中作为散热衬底的类金刚石薄膜，研究其法向与面向热导率的各向异性及尺度效应问题、薄膜与半导体材料及反射层之间的界面声子传递特性、以及同时具有复杂界面效应和低维尺度效应的多层微纳米薄膜热传导过程的声子玻尔兹曼方程求解与实验验证。在微观尺度上深化对紫外LED器件中的微纳米热传导问题的机理认识的同时，为大功率紫外LED的研发提供科学依据和理论指导。

中文关键词： 紫外半导体发光二极管；类金刚石薄膜；热导率；界面热阻；分子动力学模拟

英文摘要： Ultraviolet light-emitting diodes (UV-LEDs),potentially have wide uses in many fields, such as, medical, printing, biochemical detection, high-density information storage, military communications, and so on. Due to its low external quantum efficiency, how

英文关键词： UV-LED；DLC film；Thermal Conductivity；Interface Thernal Resistance；Molecular Dynamics Simultaion