组合法研究影响PZT薄膜结构及其热释电性能的因素

项目名称： 组合法研究影响PZT薄膜结构及其热释电性能的因素

项目编号： No.50972135

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 何岗

作者单位： 中国地质大学（武汉）

项目金额： 36万元

中文摘要： 化学溶液分解法（CSD）制备PZT薄膜的研究发现，除了前驱溶液外，组成、掺杂、工艺过程与条件（如基片、缓冲层、热处理温度、气氛）等因素都对PZT薄膜的结构及性能产生影响。诸多的影响因素，错综复杂，主要因素与次要因素不明，各种影响因素与结果之间内在的规律性的关系并没有明确，更是缺乏理论性的解释。目前，对PZT薄膜的化学组成－微观结构－热释电性质的相互关系及其变化规律缺乏全面系统的研究。组合合成的方法对于上述因素进行系统的研究是一个有效、快速的实验手段。本项目采用CSD法，利用组合合成的实验手段，在较为严格的同一实验条件下，制备Zr/Ti组成比系列变化的PZT薄膜，对其微观结构、结晶机理、相变过程、热释电系数和其他有关的物理性质等结果进行系统考察，综合对比分析，明晰PZT薄膜的组成、结构和热释电性质的影响因素与结果之间内在的规律性的关系。

中文关键词： 组合化学法；PZT薄膜；化学溶液分解法；组成梯度；铁电薄膜

英文摘要：

英文关键词： Combinatorial chemistry；PZT thin fillms；chemical solution decompositio；compositionally gradient；ferroelectric thin films