多层结构Ga2O3深紫外透明导电膜研究

项目名称： 多层结构Ga2O3深紫外透明导电膜研究

项目编号： No.10974077

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 闫金良

作者单位： 鲁东大学

项目金额： 34万元

中文摘要： 深紫外透明导电膜属于透明导电膜的前沿领域，可用于紫外光电器件的透明电极，有广泛的应用前景。近年来有关于深紫外透明导电膜实验工作的少数报道，但未见Ga2O3基多层交替结构深紫外透明导电膜的报道。本项目采用磁控溅射技术和基片旋转方法相结合制备Ga2O3/ITO多层交替结构和Ga2O3/ZnN多层交替结构，然后外退火形成界面扩散。实验研究溅射工艺参数、多层膜的单层厚度和层数、退火温度和退火气氛对多层膜的结构、光学性能和电学性能的影响。研究ITO的扩散形成的Sn掺杂Ga2O3-In2O3薄膜系统的n型掺杂及其可控技术，探讨n型掺杂机理和载流子输运机理。研究ZnN的扩散形成的Zn-N共掺杂Ga2O3薄膜P型掺杂及其可控技术,研究Zn-N共掺杂机制,揭示载流子的掺杂浓度和输运特性与退火气氛的依赖关系。研制性能良好的深紫外透明导电膜，为研究发展深紫外光电器件奠定基础。

中文关键词： 透明导电膜；多层材料体系；深紫外；导电性；氧化镓

英文摘要：

英文关键词： transparent conductive film；multilayer material system；deep ultraviolet；conductivity；gallium oxide