项目名称: 低BPD密度4H-SiC外延生长研究

项目编号: No.51302215

项目类型: 青年科学基金项目

立项/批准年度: 2014

项目学科: 一般工业技术

项目作者: 苗瑞霞

作者单位: 西安邮电大学

项目金额: 25万元

中文摘要: 4H-SiC外延材料中高密度缺陷严重影响着SiC器件的电学性能,其中BPD(基面位错)对器件性能影响最为严重。为了提高器件可靠性,必须采取有效的缺陷控制方法,降低外延层中BPD密度。据此,本项目在前期对BPD成核机理研究基础之上,通过理论计算位错弹性能并结合无损表征结果研究BPD延伸和转化机理;根据衬底表面晶体生长规律,结合BPD延伸和转化机理研究位错生长机制,制定一种有效控制外延层中BPD的外延生长方法,制备出高质量4H-SiC外延材料,为提高SiC器件可靠性奠定良好的基础。

中文关键词: SiC;位错;BPD;无损表征;延伸和转化机理

英文摘要: The high density defects in 4H-SiC epitaxial materials effect seriously on electrical properties of SiC devices.The most serious defects on device performance are BPDs in epilayer.In order to improve device reliability, BPDs in 4H-SiC epilayer must be controled.In this project, The mechanism of conversion and propagation of dislocations will be investigation by the result of theoretical calculation of the flexibility ofthe dislocation and non-destructive characterization of defects; According to the mechanism of conversion and prpogation of dislcations and the discipline of crystal growth,the method of epitaxay will be propesed. The rusult of this project will lay a good foundation to improve the reliability of SiC devices.

英文关键词: SiC;dislocation;BPD;nondestructive characterization;extension and transformation mechanism

成为VIP会员查看完整内容
0

相关内容

《美国太空部队的数字化服务愿景》,17页 pdf
专知会员服务
40+阅读 · 2022年4月4日
6G物理层AI关键技术白皮书(2022)
专知会员服务
42+阅读 · 2022年3月21日
车联网白皮书,44页pdf
专知会员服务
78+阅读 · 2022年1月3日
数据价值释放与隐私保护计算应用研究报告,64页pdf
专知会员服务
39+阅读 · 2021年11月29日
专知会员服务
42+阅读 · 2021年9月7日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年5月7日
2020-2021中国人工智能计算力发展评估报告, 36页pdf
专知会员服务
44+阅读 · 2021年3月20日
专知会员服务
124+阅读 · 2020年8月7日
年前你想攒钱买什么电子产品?
ZEALER订阅号
0+阅读 · 2022年1月19日
你的哪类电子产品换新频率最高?
ZEALER订阅号
0+阅读 · 2022年1月11日
人工智能向“上”生长,可信AI渐行渐近
机器之心
0+阅读 · 2021年12月24日
人工神经网络在材料科学中的研究进展
专知
0+阅读 · 2021年5月7日
高分子材料领域的十大院士!
材料科学与工程
19+阅读 · 2018年9月18日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2011年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
Age Optimal Sampling Under Unknown Delay Statistics
Arxiv
0+阅读 · 2022年4月20日
Synthesizing Informative Training Samples with GAN
Arxiv
0+阅读 · 2022年4月15日
小贴士
相关主题
相关VIP内容
《美国太空部队的数字化服务愿景》,17页 pdf
专知会员服务
40+阅读 · 2022年4月4日
6G物理层AI关键技术白皮书(2022)
专知会员服务
42+阅读 · 2022年3月21日
车联网白皮书,44页pdf
专知会员服务
78+阅读 · 2022年1月3日
数据价值释放与隐私保护计算应用研究报告,64页pdf
专知会员服务
39+阅读 · 2021年11月29日
专知会员服务
42+阅读 · 2021年9月7日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年5月7日
2020-2021中国人工智能计算力发展评估报告, 36页pdf
专知会员服务
44+阅读 · 2021年3月20日
专知会员服务
124+阅读 · 2020年8月7日
相关基金
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2011年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
微信扫码咨询专知VIP会员