厚样品透射电子成像中的结构效应研究

项目名称： 厚样品透射电子成像中的结构效应研究

项目编号： No.11204229

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 王芳

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 30万元

中文摘要： 利用透射电子显微成像技术对材料、器件等领域微米级厚样品进行成像与结构表征是目前电子显微学应用的一个重要发展方向，而厚样品结构与组分的复杂性对透射电子成像质量影响的结构效应尚缺乏深入研究。本项目将建立在透射电镜条件下综合考虑各能量段的电子与复杂结构样品相互作用，以及透射电子成像过程的物理模型，采用蒙特卡罗方法模拟非晶态厚样品中的各种电子散射过程及质厚衬度图像的形成，开展相关的厚样品成像实验，来研究厚样品复杂结构在成像时的各种结构效应。通过研究阐明厚样品中结构的位置信息对其成像质量影响的规律与物理机制、复杂组分与结构厚样品电子透过率的变化规律及其非线性特性、以及厚样品中晶体结构衍射对质厚衬度图像质量影响的规律，定量评估各种电镜实验参数和样品结构特性等因素对结构效应的影响。本项目对于揭示复杂结构厚样品成像规律及其微观机理、促进我国厚样品微观结构表征技术的发展具有重要的科学意义。

中文关键词： 透射电子显微术；厚样品；样品结构；成像质量；电子断层成像

英文摘要： Imaging of specimens of new materials and devices of micrometers thick with Transmission Electron Microscopy (TEM) is a prospective aspect in the application of electron microscopy. However, the special effects from the structure complexity of specimens i

英文关键词： Transmission electron microscopy；thick specimens；specimen structure；image quality；electron tomography