基于FBAR的紫外和红外光传感器的研究

项目名称： 基于FBAR的紫外和红外光传感器的研究

项目编号： No.61171038

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 董树荣

作者单位： 浙江大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 薄膜体声波谐振器（FBAR）在射频电路以及传感器领域有着广泛的应用。本项目提出了基于光电效应与压电谐振效应相互耦合的FBAR紫外光传感器，以及基于热释电效应与压电谐振效应相互耦合的FBAR红外光传感器。研究上述两种传感器的光电效应、热释电效应、温度与压电谐振效应多种耦合的工作机理，建立传感器的物理模型，基于此设计并提出新颖的高灵敏度的FBAR紫外光传感器和FBAR红外光传感器结构。目前，关于光电效应、热释电效应、温度与压电谐振效应多种耦合工作原理的FBAR紫外和红外光传感器研究未见报道。通过本项目的实施，有望获得具有自主知识产权的高灵敏度、集成化的FBAR紫外和红外光器件，对于推动其在医疗诊断、民用和军用领域应用具有重要意义。

中文关键词： 薄膜体声波谐振器；紫外光传感器；红外光传感器；肖特基结接触；压电效应

英文摘要：

英文关键词： Thin film bulk acoustic resonator(FBAR)；UV detector；infrared photo detector；Schottky contact；piezoelectric effect