基于MEMS器件的微型化驻极体研究中的几个基本问题

项目名称： 基于MEMS器件的微型化驻极体研究中的几个基本问题

项目编号： No.51177032

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 电工技术

项目作者： 陈钢进

作者单位： 杭州电子科技大学

项目金额： 62万元

中文摘要： 驻极体是指具有长期储存电极化和空间电荷能力的功能电介质材料。当被应用于微电子机械系统（MEMS）时，大尺寸材料所具有的优异性能会变得很差。主要表现为：材料的荷电量减少、电荷存储稳定性降低、极化技术不能满足工艺要求。究其原因是现有研究都基于空间电荷驻极体，材料中电荷存储受陷阱密度限制，小尺寸化后，一方面受陷阱总量影响无法实现高荷电；另一方面表面电导增加导致稳定性降低。本课题组提出：选用极性氟碳聚合物THV为材料，将其中含有的四氟乙烯、六氟丙烯基团捕获的空间电荷和偏氟乙烯极性基团取向产生的偶极电荷相结合提高电荷密度，利用空间电荷与偶极电荷的相互钳制作用提高稳定性。本项目将就微型化驻极体电场的建立和驰豫、空间电荷和偶极电荷的相互作用规律、构筑基元的结构组成与电荷存储密度相关性等基本问题开展研究，揭示微型化驻极体性能特点，为实现驻极体在MEMS技术中的应用提供理论支撑。

中文关键词： 驻极体；电荷存储；注极技术；材料；能量采集器

英文摘要：

英文关键词： Electret；Charge storage；charging technique；Materials；Energy harvest device