基于独立微等离子体内源的细长管内壁离子注入新技术及其机理研究

项目名称： 基于独立微等离子体内源的细长管内壁离子注入新技术及其机理研究

项目编号： No.10905013

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 电工技术

项目作者： 巩春志

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 细长管内壁离子注入一直是表面改性技术中的难题。目前，现有的等离子体内源技术还无法解决细长管离子注入轴向均匀性问题。为此，本项研究提出了基于独立微等离子体内源的细长管内壁离子注入新方法，将微小空心阴极放电技术应用到管筒内部，采用单独的管状地电极结构设计，保证空心阴极稳定放电，同时避免管上高压脉冲对空心阴极辉光放电的影响，在管筒内部获得了稳定的点状等离子体内源，随后在管上施加高压脉冲获得内壁注入效应，通过微等离子体内源的轴向移动实现整管处理。该技术的最大优势是微等离子体内源放电不受管筒施加偏压及其尺寸的影响，从而保证了离子注入的轴向均匀性。研究内容为：微小空心阴极等硬件系统的研制、等离子体内源的放电特性、等离子体内源与高压脉冲离子注入的相互影响、点状等离子体源离子注入过程的数值模拟、实际管件内壁离子注入实验研究等。

中文关键词： 管筒件；空心阴极放电；等离子体粒子模拟；离子注入；

英文摘要：

英文关键词： Cylindrical bore；Hollow cathode discharge；Particle-in-cell (PIC)；Ion implantation；