导模共振滤波片带宽控制新方法的理论及实验研究

项目名称： 导模共振滤波片带宽控制新方法的理论及实验研究

项目编号： No.60908021

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 张大伟

作者单位： 上海理工大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 导模共振滤光片的带宽控制研究具有重要的理论研究意义和应用研究价值，本课题紧密结合生命科学和光通信领域对窄带导模共振滤光片的需求，研究一种新的控制带宽的设计和制备方法。课题将研究利用高阶模式来压缩导模共振滤光片带宽的方法机理，进行高阶模对导模共振滤光片共振带宽压缩能力分析，建立不同结构导模共振滤光片各级高阶模式损耗和带宽的关系，通过模式损耗曲线最终建立导模共振光栅激发级次等关键参数与带宽的关系，设计光通信用的窄带导模共振结构，并结合波导层薄膜制备中的折射率控制、离子束反应蚀刻中的样品温度实时监测、蚀刻速率比控制、蚀刻误差调整补偿方法等关键技术的研究，制备出带宽<1nm、共振峰值1.55 μ#30340;窄带导模共振滤光片。课题实施中发展的理论及制备方法将满足生命科学和光通信领域对窄带导模共振滤光片的需求，极大促进国内导模共振滤光片的理论及应用研究发展，有力提升国内微纳光学元件的设计和制备水平。

中文关键词： 滤波；导模共振；滤光；光栅；亚波长

英文摘要：

英文关键词： filter；guided mode resonance；grating；subwavelength；guided mode resoant