不同BN晶型的BN/SiO2复合材料低能等离子体溅射过程微结构演化规律及损伤机制研究

项目名称： 不同BN晶型的BN/SiO2复合材料低能等离子体溅射过程微结构演化规律及损伤机制研究

项目编号： No.51372050

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 段小明

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 80万元

中文摘要： BN陶瓷作为Hall推进器通道构件的首选材料，其抗低能等离子体溅射性能是影响推进器寿命及可靠性的重要因素。但现阶段对BN陶瓷材料受等离子体溅射过程显微结构演化规律方面的研究相对较少，无法从本质上揭示其溅射损伤机制，对预测BN陶瓷材料的抗溅射性能以及进行优化设计也是十分困难的。为此，本申请拟从微观角度入手，开展多种体系BN陶瓷复合材料的价键结合方式、物相及其分布、晶间界面结合、晶粒尺寸及取向程度、等离子体溅射条件等因素对溅射损伤特性的影响规律研究，探讨材料与等离子体间相互作用机制，揭示材料显微结构、等离子体溅射条件与材料损伤行为之间的内在联系，为制备出抗溅射性能优异的BN陶瓷复合材料提供理论依据与实验指导。本项目研究，将进一步丰富和完善陶瓷材料与低能等离子体相互作用方面的基础理论以及等离子体溅射损伤机理，为将BN陶瓷应用于Hall推进器打下坚实的基础，具有重要的学术价值和潜在的工程应用前景。

中文关键词： 氮化硼；等离子体；溅射；显微结构演化；损伤机制

英文摘要： As the preferred materials used for Hall thruster channel component, the low-energy plasma sputtering performance of BN ceramic is the key factor that affects the lifetime and the reliability of thruster. But at this stage, the research on the microstruct

英文关键词： BN；Plasma；Sputter；Microstructure evolution；Damage mechanism