硫系薄膜热光稳定性及其亚微米光波导的热压印研究

项目名称： 硫系薄膜热光稳定性及其亚微米光波导的热压印研究

项目编号： No.61377061

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 沈祥

作者单位： 宁波大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 热压印技术不受光学衍射的限制，压印精度只取决于模具线宽的特点，有望取代光刻技术成为亚波长结构硫系光波导的主流制备技术。但现阶段热压印硫系光波导存在着以下科学和技术问题：①硫系玻璃热/光稳定性与结构的关系研究缺乏；②压印过程中硫系玻璃与模具之间的粘连和材料的挥发引起波导结构的缺陷问题。本项目以研究三元Ge-Sb-Se玻璃系统的热/光稳定性与平均配位数MCN之间关系为契机，优化获得非线性应用并适合热压印的硫系玻璃组分，设计光波导结构实现其色散裁剪，通过硫系材料表面沉积高熔点Al2O3薄膜解决与模具粘连和材料挥发问题，旨在掌握具有自主知识产权的亚微米尺度硫系光波导热压印制备技术，实现该尺度下硫系光波导的零(负)色散特性和高非线性特性，并且完善硫系材料结构稳定性机理。研究工作为推动硫系光波导热压印技术的发展以及今后在超快Tbit/s全光信号处理集成光器件的应用提供理论依据和科学的实验数据。

中文关键词： 硫系光波导；热压印技术；非线性；；

英文摘要： The advantage of hot embossing is that its processing accuracy is only sensitive to the linewidth in the stamps rather than optical diffraction in a traditional lithography processing. This enables it to be the best technique to fabricate sub-micrometer-s

英文关键词： Chalcogenide waveguide；Thermal embossing technology；Nonlinear；；