基于二元闪耀光栅的垂直耦合器和导模共振窄带滤波器的研究

项目名称： 基于二元闪耀光栅的垂直耦合器和导模共振窄带滤波器的研究

项目编号： No.61177058

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 周治平

作者单位： 北京大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 本项目是2010年基金委支持的一年期项目的继续, 研究基于二元闪耀光栅的高性能垂直耦合器和导模共振窄带滤波器。本项目将进一步研究并完善全刻蚀与垂直入射的波导光栅耦合器，利用电子束和光刻工艺完成相关器件的制作；借助光栅-波导耦合测试平台完成其耦合效率、插损和消光比等性能的测试与分析。同时，研究具有更高偏振不敏感性和角容忍度以及谐振中心波长随入射角度线性可调的窄带滤波器，并完成相关器件的制备和测试。本项目研究的全刻蚀光栅耦合器具有一次刻蚀成型和垂直耦合的特点，能有效的降低器件的设计与制作时间和成本，并大大提高器件的集成度，为亚波长微纳光电子器件的低成本设计、高密度集成提供一种解决方案。导模共振窄带滤波器具有高灵敏度和谐振波长线性可调等优点，在微纳集成光路尤其是SOI光波导系统的耦合、滤波、复用与解复用、光纤到户(FTTH)、光互连和光计算系统中具有重要的应用。

中文关键词： 波导光栅；全刻蚀光栅耦合器；中心波长可调；窄带滤波器；绝缘体上硅

英文摘要：

英文关键词： waveguide grating；fully etched grating coupler；center wavelength tunable；narrow band filter；silicon on insulator