纳米柱状结构表面硅材料的研制与在光电池应用上的性能研究

项目名称： 纳米柱状结构表面硅材料的研制与在光电池应用上的性能研究

项目编号： No.50972144

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 伊福廷

作者单位： 中国科学院高能物理研究所

项目金额： 35万元

中文摘要： 利用纳米岛自组装技术与其它微加工技术相结合，完成大表面比的大高宽比纳米柱状结构硅材料研制，进行结构光学性能的理论计算和试验研究，并应用这一材料完成光电池的研制和开展初步的光电池性能分析。该项目提出了一种新的表面结构硅材料和相应的加工方法，通过采用纳米岛光刻这种自下而上的自组装原始结构制造技术，开发出廉价和易于工业化生产的纳米柱状结构硅材料的加工工艺。该技术首先利用氯化铯的自组装得到氯化铯原始岛结构，然后借助ICP离子束刻蚀技术，将氯化铯岛结构转化成硅纳米柱状结构，获得表面为纳米柱状结构的硅材料。本项目是以广泛应用的半导体硅材料为研究对象，结合纳米柱状结构光电池的研究，成果易于实际应用。大表面比的大高宽比纳米柱状结构表面硅材料是一新的织构化结构，能够减小光的反射来，达到提高光电池光电转换效率的目的。光电池的应用研究是该材料应用的一种尝试，为探索该结构材料可能的实际应用提供研究数据。

中文关键词： 纳米结构；硅纳米结构材料；纳米自组装；纳米结构光电池；

英文摘要：

英文关键词： nano structures；silicon with nano structures；nano selfassemble；solar cell with nano structure；