硅基光波导可调波分复用/解复用异质集成芯片基础研究

项目名称： 硅基光波导可调波分复用/解复用异质集成芯片基础研究

项目编号： No.61405188

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 尹小杰

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 25万元

中文摘要： 随着密集波分复用（DWDM）宽带光网络的发展，市场对可重构光插分复用器（ROADM）等智能光节点的潜在需求巨大，带动了对通道数多、损耗小、响应速率快、体积小、可控的波分复用/解复用单元需求量的快速增长。本项目主要开展宽带光网络用、高性能硅基光波导可调波分复用/解复用异质集成芯片基础研究。在深入开展硅基二氧化硅光波导及绝缘体上硅（SOI）微纳光波导分立器件物理特性分析、模拟设计和工艺研发的基础上，将具有波分复用/解复用功能的硅基二氧化硅阵列波导光栅（AWG）与基于电吸收调制的可调谐光衰减器（VOA）阵列异质集成在同一硅基平台上，发挥其各自的优势，以满足宽带光网络对该芯片低损耗、高响应速率及低功耗等要求。硅基光波导可调波分复用/解复用异质集成芯片的深入研究与开发，能够为宽带光网络核心集成芯片的国产化做好技术储备，以满足我国迅猛增长的市场需求，提升我国高科技产业核心芯片领域竞争力。

中文关键词： 光网络；平面光波导；阵列波导光栅；可调谐光衰减器；模斑转换器

英文摘要： With dense wavelength division multiplexing(DWDM) broadband optical network development, the market demand for reconfigurable optical add -drop multiplexer (ROADM) and other intelligent optical node is growing, which cause the demand number of multi-chann

英文关键词： Optical Networking；Planar Optical Waveguide；Arrayed Waveguide Grating；Variable Optical Attenuator；Spot-Size Converter