表面修饰非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的电学性能和非极性气体敏感特性

项目名称： 表面修饰非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的电学性能和非极性气体敏感特性

项目编号： No.11374372

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 薛庆忠

作者单位： 中国石油大学（华东）

项目金额： 80万元

中文摘要： 新型气体探测材料的研究对安全、医药卫生、环境监测与保护等领域具有重要的应用价值和深远的科学意义。本项目研究表面修饰非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的电学性能和非极性气体敏感特性。主要包括：研究氢气（二氧化碳）对表面修饰的非晶碳膜的电流-电压特性、载流子类型、载流子浓度等电学性能的影响规律及机理。研究氢气（二氧化碳）对表面修饰的非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结电学性能的影响规律。利用半导体理论和固体能带理论等建立理论模型，给出表面修饰的非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的非极性气体敏感机理。初步实验表明：钯修饰的非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结对4%氢气的灵敏度达到了16000%，具有很好的应用前景。目前，国内外还鲜有研究人员利用表面修饰非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结开发气体传感器，本项目的立项和研究可以开辟利用表面修饰非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的电学性能制备非极性气体传感器的新途径。

中文关键词： 表面修饰；碳膜；异质结；电学性能；气敏性

英文摘要： It is very important to study new gas-sensitivity materials for safety, medicine and health, environmental monitoring and protection, and so on. In this study, we will study electric properties and non-polar gas sensitivity of modified amorphous carbon fi

英文关键词： Modification；Carbon film；Heterojunction；Electric properties；Gas sensitivity