中红外宽调谐外腔量子级联激光器的研究

项目名称： 中红外宽调谐外腔量子级联激光器的研究

项目编号： No.60906047

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李耀耀

作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

项目金额： 24万元

中文摘要： 本课题围绕国家中长期科学和技术发展规划纲要对生态和环境变化、疾病的监测与预警技术的科技创新、重大战略和迫切科技支撑需求，研究中红外宽调谐外腔调制单模QCL光源的关键科学问题和核心技术。本课题通过对强反馈外腔调制核心技术的认知研究，结合宽增益谱有源区的创新设计、多维散热封装结构的新构思和QCL结构量子尺寸精细控制，研制宽波长调谐范围、外腔调制稳定单模工作的7-10μQCL，为发展TDLAS痕量气体检测技术中红外半导体光源提供核心科学和技术积累。研究内容如下：具有宽增益谱的束缚态-连续态和多声子辅助共振-四阱耦合有源区设计；QCL结构剩余应变设计和GSMBE生长精确控制，材料参数与器件品质关联研究；多维散热器件封装结构的新构思结合器件腔面新工艺及其对增强外腔调制的作用，研制高性能的F-P腔QCL；设计强反馈外腔调制系统的设计和构建，利用F-P腔QCL和光栅外腔得到宽调谐稳定单模输出。

中文关键词： 量子级联激光器；外腔；单模；连续工作；应变补偿

英文摘要：

英文关键词： Quamtum cascade laser；external cavity；single mode；continuous-wave operation；strain compensated