激光激励下微半导体结构的振动研究

项目名称： 激光激励下微半导体结构的振动研究

项目编号： No.10972169

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 宋亚勤

作者单位： 西安交通大学

项目金额： 35万元

中文摘要： 随着光热技术的迅猛发展和微半导体结构在微电子机械系统中的广泛应用，对光热作用下微半导体结构的振动机理的研究已显得日益重要。本项目拟采用理论与实验相结合的方法，对调制激光激励下微半导体结构的振动进行研究。实验上，采用基于外差干涉原理的高分辨率"热弹性显微镜"装置和谱分析仪对不同结构的微半导体器件（梁、板、膜等）的振动响应进行测量；理论上，拟采用非扩散型等离子波、非扩散型热波和弹性波耦合的数学模型来描述光热作用的物理过程。通过对理论模拟结果和实验测量结果的比较，对拟采用的模型进行进一步的修正，以期获得高频激光激励下微半导体结构振动的数学模型，从而准确描述该物理过程。本项目不仅是对激光激励下结构振动的机理的完善，且对微半导体器件的研制和开发提供理论支持。

中文关键词： 光热；热弹性；半导体微结构；振动；

英文摘要：

英文关键词： Photothermal；thermoelastic；semiconducting microstructures；vibration；