利用X射线光刻技术研制X射线相衬成像光栅

项目名称： 利用X射线光刻技术研制X射线相衬成像光栅

项目编号： No.11405200

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 王波

作者单位： 中国科学院高能物理研究所

项目金额： 28万元

中文摘要： X射线相衬成像对癌症肿瘤等软组织的成像质量远高于传统的吸收成像，因此具有广阔的应用前景。但由于高深宽比X射线光栅的研制困难，国内相衬成像研究受到很大限制。本项目利用X射线光刻技术研制X射线光栅并研究其性能。首先模拟计算不同参数光栅结构对成像质量的影响，并据此优化光栅结构。研究采用本实验室开创的纳米岛技术及加强筋结构解决PMMA支撑结构变形和倒塌问题。通过对电镀装置的改造、电镀过程的监控调节等研究解决电镀均匀性与稳定性问题。研制出周期4~6μm，高度大于46μm的吸收光栅。采用同步辐射X射线成像装置研究光栅自成像和相衬成像性能。

中文关键词： 相衬成像；光栅；X射线光刻；电镀；

英文摘要： X-ray phase contrast imaging would be widely used because of the superiority over the absorption contrast imaging on soft tissues of tumour. The X-ray phase contrast imaging research is limited by the lack of phase contrast imaging gratings with excellent

英文关键词： phase contrast imaging；grating；X-ray lithography；electroplating；