气相沉积中局部流场对材料微结构和性质的影响

项目名称： 气相沉积中局部流场对材料微结构和性质的影响

项目编号： No.20976182

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 田亚峻

作者单位： 中国科学院过程工程研究所

项目金额： 33万元

中文摘要： 气相沉积在纳微结构材料的制备中占有越来越重要的地位。通常报道只关注反应器的温度、工作气体的流量、沉积体系的压力等外部条件对产物的微结构的改变或者调控。但我们发现在同一外部条件下不同结构反应器、反应器不同位置得到的产物微结构相去甚远，说明仅依靠外部条件描述气相沉积是远远不够的。在反应器中，气相物质除自由扩散之外，还受到气流输送、质量传递、化学反应等因素的影响，这些因素的综合作用可在反应器中营造出因物质场分布而形成的不同局部化学环境，直接导致不同位置产物微结构和性质迥异。因此，只有结合流场分析，探索气相沉积反应器中宏观流场与纳微结构的相互关系，才有可能揭示控制微结构形成之控制因素、纳微材料制备中的流场现象等科学问题。这对于调控纳微结构的性能、反应器的设计意义非凡，也是对传统"三传一反"理论的延伸和补充。

中文关键词： 气相沉积；流场；微结构；反应器；

英文摘要：

英文关键词： Chemical vapor deposition；fluid field；microstructures；reactor；