全透明氧化物薄膜晶体管的工艺技术及物理机理研究

项目名称： 全透明氧化物薄膜晶体管的工艺技术及物理机理研究

项目编号： No.60977016

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 韩德栋

作者单位： 北京大学

项目金额： 37万元

中文摘要： 近几年来，有关透明电子学的研究逐渐成为电子技术领域的热门话题。透明电子学主要是关于透明氧化物半导体材料、器件以及电路的研究。透明氧化物半导体材料主要有In203、SnO2、ZnO及其掺杂的材料。我们的研究包括透明氧化物电子材料的导电机理；透明氧化物导电材料、半导体材料以及绝缘栅介质材料的工艺研究及应用；全透明氧化物电子器件的工艺制备及器件的可靠性等等。透明电子学产品可以应用到汽车透明的防雾玻璃、手机、电视、复印机、液晶显示（LCD）、有机发光二极管显示（OLED）、柔性显示、电子纸、太阳能电池、计算机等等非常广泛的领域。科学家们预测透明电子学将开创一个新的电子工业时代，透明电子产品也将发展成为一个效率更高、价格更便宜的新兴电子行业。透明电子学在各种新型光/电子产品中的研究和应用对开创新型工业、增加就业机会以及提供更有效更经济的消费品方面都将有重大影响。

中文关键词： 氧化锌材料；全透明氧化物薄膜晶体管；低温工艺；高K材料；可靠性

英文摘要：

英文关键词： Zinc Oxide materials；Fully transparent oxide TFT；Low-temperature process；High-K material；Reliability