中国工程院院士,四川大学校长、教授。电子薄膜与集成器件国家重点实验室主任,电子信息材料专家。长期从事电子薄膜材料与器件应用研究,发明了倒筒式溅射旋转沉积薄膜制备技术,解决了大面积单、双面YBCO超导薄膜面内均匀性和两面一致性;发明了介电薄膜的纳米自缓冲层技术,显著提高了多元氧化物介电薄膜工程应用的耐压能力和生长取向特性。利用介电/半导体集成薄膜技术,积极推动新型集成电子器件的发展。
没有数据了, 换个别的吧!
参考链接
微信扫码咨询专知VIP会员